真空中揩振微梁的品质因数

考虑到谐振微梁振动时，撞击在微梁两侧的分子数目和分子速率分布的差异，对Ｋａｄａｒ等人提出的撞击微梁的分子速率分布函数做了修正。利用修正后的模型，对真空中运动微梁的品质因数进行了理论分析。结果表明，修正后的理论值比原理论值与实验值符合得更好，对于谐振微梁结构参数的优化设计具有一定的指导意义。同时，在高真空区域，考虑了谐振梁本征阻尼与分子碰撞耦合效应，消除了原有处理方法在该区域出现的折点。