| MEMS多层悬梁微执行器的电-热分析模型研究 |
| |
| 引用本文： | 蒋剑良. MEMS多层悬梁微执行器的电-热分析模型研究[J]. 北京理工大学学报, 2005, 25(6): 512-516 |
| |
| 作者姓名： | 蒋剑良 |
| |
| 作者单位： | 北京理工大学,信息科学技术学院光电工程系,北京,100081 |
| |
| 摘 要： | 在约定的工作条件下,列出了MEMS多层悬梁微执行器热传递方程和初始条件、边界条件,并得到解析解,建立了电-热分析模型.利用Matlab软件包和ANSYS软件包分别进行解析解分析和三维有限元分析,并进行比较.结果表明在500 K附近静态/稳态工作时,对于材料层厚度di＜bL,i=1,2,3,得到温度分布沿长度方向不一致,沿宽度方向一致.解析模型与有限元分析的误差可以小于5%,说明多层悬梁微执行器二维电-热解析模型是有效的.
|
| 关 键 词： | 微机电系统 多层悬梁微执行器 解析模型 电-热分析 |
| 文章编号： | 1001-0645(2005)06-0512-05 |
| 收稿时间： | 2004-05-11 |
| 修稿时间： | 2004-05-11 |
Study on Electro-Thermal Analytical Model of MEMS Multilayer Cantilever Microactuator |
| |
| JIANG Jian-liang. Study on Electro-Thermal Analytical Model of MEMS Multilayer Cantilever Microactuator[J]. Journal of Beijing Institute of Technology(Natural Science Edition), 2005, 25(6): 512-516 |
| |
| Authors: | JIANG Jian-liang |
| |
| Affiliation: | Department of Optical Engineering, School of Information Science and Technology, Beijing Institute of Technology, Beijing100081, China |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | MEMS multilayer cantilever microactuator analytical model electro-thermal analysis |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《北京理工大学学报》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《北京理工大学学报》下载全文 |
|
