微波等离子体增强化学气相沉积方法制备碳氮纳米管及其结构表征 |
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引用本文: | 马旭村,徐贵昌,王恩哥.微波等离子体增强化学气相沉积方法制备碳氮纳米管及其结构表征[J].中国科学(E辑),2000,30(2). |
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作者姓名: | 马旭村 徐贵昌 王恩哥 |
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作者单位: | 中国科学院物理研究所表面物理国家重点实验室,北京,100080 |
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基金项目: | 中国科学院和国家重点基础研究专项经费资助 |
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摘 要: | 利用微波等离子体增强化学气相沉积方法 ,在多孔二氧化硅基底上制备了大面积取向一致的碳氮纳米管薄膜 .采用扫描电子显微镜、透射电子显微镜和能量散射X射线能谱仪分别进行了纳米管的形貌、结构和成分的研究 .结果表明这种纳米管的直径一般为 10 0nm ,长度可达 2 0 μm ,为纳米钟的线性聚合物 .纳米管的成分中同时均匀含有C ,N两种元素 .进一步的X射线光电子能谱结果证明了C与N之间以成键结合 .这预示着一种新的C1-xNx(x =0 .16± 0 .0 1)相出现在纳米管结构中 .
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关 键 词: | 碳氮纳米管 线性纳米钟聚合结构 化学成分与键态 |
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