| 铟锡氧化物透明导电簿膜的化学喷雾淀积法 |
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| 引用本文： | 宋志刚,李长江.铟锡氧化物透明导电簿膜的化学喷雾淀积法[J].北京化工大学学报(自然科学版),1990(1). |
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| 作者姓名： | 宋志刚 李长江 |
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| 作者单位： | 北京化工学院应用数理系
(宋志刚)，北京化工学院应用数理系(李长江) |
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| 摘 要： | 采用喷雾淀积法(CSD),在预热的普通玻璃基片上成功地制备了铟锡氧化物透明导电薄膜(ITO)。考察了其方块电阻R_□和透射率T_(?)随基片温度、溶液浓度及化学组份的变化,获得了他们的关系曲线。并在一组最佳工艺条件下制备出质量很好的透明导电薄膜,其方块电阻R_□≤70Ω,透射率T_r≥85％。
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| 关 键 词： | 铟锡氧化物 化学 透明导电薄膜(ITO) 化学喷物淀积法(CSD) |
Indium Tin Oxide Transparent Conductive Film Prepared By Chemical Spray Deposition |
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| Song Zhigang Li Changjiang.Indium Tin Oxide Transparent Conductive Film Prepared By Chemical Spray Deposition[J].Journal of Beijing University of Chemical Technology,1990(1). |
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| Authors: | Song Zhigang Li Changjiang |
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| Institution: | Department of Applied Mathematics and Physics |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | indium tin oxide chemistry transparent conductive films chemical spray deposition |
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