| 平面扭转式强磁场测量微传感器的设计与分析 |
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| 引用本文： | 王月媖,许高斌,王超超,陈兴,马渊明. 平面扭转式强磁场测量微传感器的设计与分析[J]. 合肥工业大学学报(自然科学版), 2020, 43(10): 1352-1356. DOI: 10.3969/j.issn.1003-5060.2020.10.010 |
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| 作者姓名： | 王月媖 许高斌 王超超 陈兴 马渊明 |
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| 作者单位： | 合肥工业大学电子科学与应用物理学院,安徽合肥230601,合肥工业大学电子科学与应用物理学院,安徽合肥230601;安徽省微电子机械系统工程技术研究中心,安徽合肥230601,合肥工业大学电子科学与应用物理学院,安徽合肥230601,合肥工业大学电子科学与应用物理学院,安徽合肥230601,合肥工业大学电子科学与应用物理学院,安徽合肥230601 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;装备预研项目 |
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| 摘 要： |
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| 关 键 词： | 微机电系统(MEMS) 强磁场传感器 托卡马克 洛伦兹力 |
Structure design and characteristic analysis of a planar torsional micro sensor for strong magnetic field measurement |
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| WANG Yueying,XU Gaobin,WANG Chaochao,CHEN Xing,MA Yuanming. Structure design and characteristic analysis of a planar torsional micro sensor for strong magnetic field measurement[J]. Journal of Hefei University of Technology(Natural Science), 2020, 43(10): 1352-1356. DOI: 10.3969/j.issn.1003-5060.2020.10.010 |
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| Authors: | WANG Yueying XU Gaobin WANG Chaochao CHEN Xing MA Yuanming |
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