| Si衬底共面传输线的宽频带传输特性分析 |
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| 引用本文： | 代文亮,李征帆,李富华. Si衬底共面传输线的宽频带传输特性分析[J]. 上海交通大学学报, 2003, 37(6): 836-838,842 |
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| 作者姓名： | 代文亮 李征帆 李富华 |
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| 作者单位： | 上海交通大学,电子工程系,上海,200030 |
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| 摘 要： | 采用介质镜像格林函数法结合点匹配法，对半导体Si衬底上的多导体共面传输线的分布电容和分布电导在0～20GHz的频域特性进行了分析求解，并与谱域分析(SDA)等方法及实测结果进行了比较。结果表明，该方法用于有耗衬底的共面互连线系统的参数提取是有效和可行的。
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| 关 键 词： | 半导体衬底 格林函数 介质镜像法 点匹配法 共面传输线 |
| 文章编号： | 1006-2467(2003)06-0836-03 |
Analysis of Broadband Behavior for the Coplanar Transmission Lines on Silicon Substrate |
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| DAI Wen liang,LI Zheng fan,LI Fu hua. Analysis of Broadband Behavior for the Coplanar Transmission Lines on Silicon Substrate[J]. Journal of Shanghai Jiaotong University, 2003, 37(6): 836-838,842 |
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| Authors: | DAI Wen liang LI Zheng fan LI Fu hua |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | semiconductor substrates Green's function dielectric image method point matching coplanar transmission lines |
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