无需参考信号的单晶炉温度干扰抑制新方法

为有效地抑制单晶炉热场温度测量值中的低频干扰,改善热场温度的估计精度,提出了一种无需参考信号的新的自适应对消法。该方法将迭代自适应法引入自适应对消法中,利用迭代自适应法从输入信号中逐个估计低频干扰分量,并且在估计每个干扰分量的过程中能够减少其它分量的影响,将各个干扰分量消除。仿真和工程实验结果表明,该方法在无需参考信号的条件下,能够准确地估计各个干扰分量,从而有效地抑制单晶炉热场温度测量值中的干扰,优于现有方法,符合单晶炉热场温度控制系统的工艺要求。