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用喷雾沉积法制备YBa_2Cu_3O_(7-x)超导薄膜
作者姓名:吴代鸣  王一中  千正男  曾令文  梁路光
作者单位:吉林大学物理系(吴代鸣,王一中,千正男,曾令文),吉林大学物理系(梁路光)
摘    要:近来许多人已用电子束蒸发、激光加热蒸发、分子束外延、溅射法等方法制成了YBaCuO超导薄膜。但上述方法都需要比较昂贵的镀膜设备,而且不易准确控制膜的成份,重复性差。本文采用简单的喷雾沉积法,在ZrO_2单晶衬底上制备出Tc(onset)=95K,Tc(R=0)=87K的YBa_2Cu_3O_(7-x)超导薄膜。 1.用Y_2O_3,BaCO_3,CuO为原料,按Y:Ba:Cu=1:2:3的比例混合后倒入硝酸

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