| 真空微电子触觉传感器场致发射阵列的研究 |
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| 引用本文： | 温志渝,何清义,江永清,林鹏,蒋子平.真空微电子触觉传感器场致发射阵列的研究[J].重庆大学学报(自然科学版),1998,21(4). |
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| 作者姓名： | 温志渝 何清义 江永清 林鹏 蒋子平 |
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| 作者单位： | 国家教委光电技术及系统开放实验室 |
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| 摘 要： | 阐述了真空微电子触觉传感器的工作原理。采用半导体集成电路加工技术和硅微各向异性腐蚀及氧化锐化工艺，在电阻率为３～５Ω·ｃｍ的ｎ型（１００）硅片上制备了真空微电子触觉传感器的场致发射阴极锥尖阵列，锥尖密度达３９００个／ｍｍ２，起始发射电压为２～３Ｖ，反向击穿电压大于３０Ｖ，收集极在２０Ｖ在电压时，单尖发射电流达０．２μＡ，实验结果表明这种真空微电子触觉传感器具有良好的触觉效应。
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| 关 键 词： | 场致发射 锥尖阵列 各向异性腐蚀 氧化锐化 |
Study on Field Emission Array Integrated Vacuum Micro Electron Tactile Sensor |
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| Wen,Zhiyu,He,Qingyi,Jiang,Yongqing,Lin,Peng,Jiang,Ziping.Study on Field Emission Array Integrated Vacuum Micro Electron Tactile Sensor[J].Journal of Chongqing University(Natural Science Edition),1998,21(4). |
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| Authors: | Wen Zhiyu He Qingyi Jiang Yongqing Lin Peng Jiang Ziping |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | field emission silicon tip array anisotripic etching oxidation sharpening |
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