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超大规模集成电路纳米磨料化学机械全局平面化新技术

引用本文：	王新.超大规模集成电路纳米磨料化学机械全局平面化新技术[J].天津科技,2002,29(6):49.

作者姓名：	王新

摘要：
关键词：	超大规模集成电路纳米粒子清洗技术平面化
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