| 金刚石声表面波器件的研制 |
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| 引用本文： | 徐晟,陈希明,杨晓苹,杨保和.金刚石声表面波器件的研制[J].天津理工大学学报,2006,22(1):6-8. |
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| 作者姓名： | 徐晟 陈希明 杨晓苹 杨保和 |
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| 作者单位： | 天津理工大学,光电信息与电子工程系,天津,300191 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划);天津市高等学校科技发展基金 |
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| 摘 要： | 对ZnO／IDT／金石多层结构高频声表面波滤波器进行模拟设计、样件制备和测量．利用热丝化学气相沉积方法，在抛光Si基底沉积致密、光滑的CVD金刚石膜；采用磁控溅射法在金刚石薄膜上制备C轴取向的氧化钎压电薄膜．研制的ZnO／IDT／金刚石／硅结构SAW滤波器，又指换能器（IDT）指宽1．7μm，SAW滤波器频率达到1．4GHz．
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| 关 键 词： | 声表面波 多层膜结构 金刚石薄膜 氧化锌压电薄膜 |
| 文章编号： | 1673-095X（2006）01-0006-03 |
| 收稿时间： | 2005-09-15 |
| 修稿时间： | 2005年9月15日 |
Analysis and preparation of SAW devices on diamond |
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| XU Sheng,CHEN Xi-ming,YANG Xiao-ping,YANG Bao-he.Analysis and preparation of SAW devices on diamond[J].Journal of Tianjin University of Technology,2006,22(1):6-8. |
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| Authors: | XU Sheng CHEN Xi-ming YANG Xiao-ping YANG Bao-he |
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| Institution: | Department of Optical Electronic Information and Electronic Engineering, Tianjin University of Technology,Tianjin 300191, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | SAW multilayered structures diamond film ZnO piezoelectricity films |
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