| 利用有限Fourier系数算法求解光学制造中误差校正输入数据 |
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| 引用本文： | 程灏波,孙国正,冯之敬.利用有限Fourier系数算法求解光学制造中误差校正输入数据[J].中国科学(E辑),2006,36(1):94-104. |
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| 作者姓名： | 程灏波 孙国正 冯之敬 |
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| 作者单位： | 1. 北京理工大学光电工程系,北京,100081;清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084
2. 中国北方工业总公司兵器科学研究院,北京,100089
3. 清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084 |
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| 摘 要： | 光学自由曲面是一类极难制造的异形曲面, 采取计算机控制光学表面成型技术制造时, 元件表面材料去除量由单位去除函数与输入参量(驻留时间)之间的卷积分决定. 求解加工驻留时间, 一般利用低通滤波器或迭代的方法借助于反卷积算法, 但是结果中存在的近似解将会影响加工稳定性. 本研究基于有限Fourier系数算法构建输入参量求解模型, 可以有效提高参量求解精度并保证加工过程的连续稳定. 通过对影响计算机控制光学表面成型工艺参数的仿真分析, 对求解模型实施评价, 实验结果验证这一方法可以指导高精度自由曲面光学元件的超精密制造.
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| 关 键 词： | 计算机控制光学表面成型 自由曲面 有限Fourier系数 误差校正 光学制造 |
| 收稿时间： | 2004-08-07 |
| 修稿时间： | 2004-08-072005-09-30 |
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