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| 钛镁共掺氧化锌透明导电薄膜的制备及其光电性能 | |
| 作者姓名： | 钟志有 田雨 龙浩 陈首部 杨春勇 |
| 摘 要： | 采用磁控溅射工艺制备了钛镁共掺氧化锌(TMZO)透明导电氧化物(TCO)薄膜,通过紫外-可见分光光度计和四探针仪的测试以及光学表征技术,研究了气体压强对薄膜样品光学和电学性能的影响.结果表明:所有薄膜样品在可见光区域具有正常色散性质,其折射率曲线均遵循单振子色散模型;同时TMZO薄膜的光电性能与气体压强密切相关.当气体... |
| 关 键 词： | 透明导电氧化物 掺杂氧化锌 薄膜 光电性能 |