| 外界振动对SPM测量结果的影响 |
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| 引用本文： | 胡小唐,陈津平,胡晓东,郭彤,陈峰. 外界振动对SPM测量结果的影响[J]. 天津大学学报(自然科学与工程技术版), 2003, 36(2): 143-147 |
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| 作者姓名： | 胡小唐 陈津平 胡晓东 郭彤 陈峰 |
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| 作者单位： | 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室，天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室，天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室，天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室，天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 天津300072，天津300072，天津300072，天津300072，天津300072 |
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| 基金项目： | 教育部科学技术重点基金资助项目(02043)，国家高技术研究发展专项基金资助项目(2002AA404090). |
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| 摘 要： | 探讨了外界激振对扫描探针显微镜（SPM）扫描图像的影响，针对DI扫描探针显微镜MultiMode^TM SPM，以Tektronix任意波形发生器AWG2021驱动PC扬声器作为激振源，以SIOS微型激光干涉测振仪SP-S为测振系统，研究了0-7kHz频带内SPM机体的简谐迫振对扫描图像的影响。实验表明，针尖-样品副所受激振影响不同于SPM机体；0-1kHz频带内的激振影响显著，再高频段则影响甚微；外界激振与SPM扫描的综合作用影响成像的结果；针尖-样品副的粘弹性模型是SPM振动影响研究的指导理论。
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| 关 键 词： | 外界激振 扫描探针显微镜 针尖－样品副 粘弹性模型 |
| 文章编号： | 0493-2137(2003)02-0143-05 |
| 修稿时间： | 2002-11-10 |
External Vibration Influence on SPM Measuring Results |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | external vibration SPM tip-sample interaction viscoelastic model |
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