| 在MgO(001)基板上生长连续的L10-FePt 纳米薄膜 |
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| 作者姓名： | 莫小静 向晖 郑远平 李国庆 熊祖洪 屿敏之 |
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| 作者单位： | ① 西南大学物理科学与技术学院, 重庆 400715;
② 东北学院大学工学部, 仙台 980-8511, 日本 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(批准号: 51071132)、重庆市自然科学基金(编号: CSTC2009BB8102)和中央高校基本科研业务费专项资金(编号:XDJK2009C193)资助项目 |
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| 摘 要： | 用磁控溅射法在加热到400℃的MgO(001)基片上沉积了总厚度为25 nm 的[Fe(0.6 nm)/Fe30.5Pt69.5(1.9nm)]10 多层连续薄膜, 并对其在[500, 900]℃的温度范围进行了3h 的真空热处理. 结果表明, 薄膜在沉积过程中发生了层间扩散, 形成A1 相的FePt 合金, 表现为软磁特性; 热处理温度高于700℃时, 薄膜内形成L10 相的(001)织构, 其单轴磁晶各向异性能高于2.5×107 erg cc-1; 薄膜能在800℃以下保持形貌连续. 借助于半导体载流子扩散和复合模型, 对薄膜在高温下形貌保持连续的机理进行了探讨. 分析认为, 虽然薄膜在沉积过程中发生了层间扩散, 但内部仍然残存微弱的周期性成分起伏, 这可以有效阻碍热处理过程中因相变而引起的Pt 元素析出, 从而抑制了因形成富Pt 晶界而导致的形貌不连续. 这种薄膜可以方便地用于微加工制作磁性阵列和隧道结.
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| 关 键 词： | L10-FePt 连续薄膜 周期性成分起伏 Pt 富集 相变 热处理 |
| 收稿时间： | 2010-04-27 |
| 修稿时间： | 2010-05-28 |
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