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| 国家电子元器件清洗技术研究推广中心 | |
| 摘 要： | 电子清洗技术（包括清洗剂和与之配套的清洗工艺）对电子工业，特别是对半导体工业生产是极为重要的。在半导体器件和集成电路的制造过程中，几乎每道工序都涉及到清洗，而且集成电路的集成度愈高，制造工序愈多，所需的清洗工序也愈多。在诸多的清洗工序中，只要其中有一道工序达不到要求，则将前功尽弃，导致整批芯片的报废。可以说如果没有有效的清洗技术，便没有今日的半导体器件、集成电路和超大规模集成电路的发展。“八五”期间，山东大学光电材料与器件研究所在国家科委、国家计委、国家教委和电子工业部的支持下，全体攻关人员团结… |
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