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离子束辅助蒸发对ZnS,MgF2及Al膜层性能的影响
引用本文:王红萍,闫席珍. 离子束辅助蒸发对ZnS,MgF2及Al膜层性能的影响[J]. 太原科技, 2008, 0(12)
作者姓名:王红萍  闫席珍
作者单位:太原光学仪器厂,山西,太原,030012
摘    要:通过实验数据证明了离子束辅助蒸发对ZnS,MgF2及Al膜层折射率、牢固度及环境耐受性的影响,并简要分析了产生这些影响的原因。

关 键 词:离子束辅助  膜层  光学薄膜材料

How Ion-beam Assisted Evaporation Influenced Film Properties of ZnS, MgF2and Al
WANG Hong-ping,YAN Xi-zhen. How Ion-beam Assisted Evaporation Influenced Film Properties of ZnS, MgF2and Al[J]. Taiyuan Science and Technology, 2008, 0(12)
Authors:WANG Hong-ping  YAN Xi-zhen
Abstract:The experimental data proved how assisted evaporation of ion beam influenced refractive index,durability and environmental tolerance degree of ZnS,MgF2 and Al.Also in this paper,we analyzed the causation of these effects.
Keywords:ion-beam assisted  film  optical thin-film material
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