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扫描电子热声显微镜及其微区分析技术
作者姓名:印建平  孙洪伟  高伟建
作者单位:苏州大学分析测试中心,苏州大学分析测试中心,苏州大学分析测试中心
摘    要:扫描电子热声显徽术及其微区分析技术统称为扫描电子热声波技术。本文简述扫描电子热声显微镜成象的物理过程和基本原理,介绍扫描电子热声波技术的工作模式和实验装置,并简单综述了扫描电子热波技术的应用与发展前景。

关 键 词:扫描电子热声波  扫描电子热声显微镜  电子热声谱微区分析
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