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分类号
杂志ISSN号
扫描电子热声显微镜及其微区分析技术
作者姓名:
印建平
孙洪伟
高伟建
作者单位:
苏州大学分析测试中心,苏州大学分析测试中心,苏州大学分析测试中心
摘 要:
扫描电子热声显徽术及其微区分析技术统称为扫描电子热声波技术。本文简述扫描电子热声显微镜成象的物理过程和基本原理,介绍扫描电子热声波技术的工作模式和实验装置,并简单综述了扫描电子热波技术的应用与发展前景。
关 键 词:
扫描电子热声波
扫描电子热声显微镜
电子热声谱微区分析
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