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微压传感器的设计分析

作者姓名：	张久惠沈桂芬杨学昌

作者单位：	辽宁大学物理系(张久惠，沈桂芬)，辽宁大学物理系(杨学昌)

摘要：	本文分析了压阻式扩散硅压力传感器的设计原理:对微压传感器的关键问题提出了各向异性腐蚀,掺高浓度硼停止腐蚀;用E型杯代替C型杯的设计,初步研制了量程小于1000mm水柱高,精度小于0.5%的微压传感器。
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