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| 多弧离子镀TiAlN涂层熔滴工艺参数的影响 | |
| 引用本文： | 毛延发,宫永辉,杨琳,韩培刚,兰新哲,周廉.多弧离子镀TiAlN涂层熔滴工艺参数的影响[J].内蒙古民族大学学报(自然科学版),2007,22(5):514-517. |
| 作者姓名： | 毛延发 宫永辉 杨琳 韩培刚 兰新哲 周廉 |
| 作者单位： | 1. 西安建筑科技大学,陕西,西安,710003 2. 深圳大学,广东,深圳,518060 3. 深圳市广大纳米工程技术有限公司,广东,深圳,518172 |
| 基金项目： | 深圳大学校科研和教改项目 |
| 摘 要： | 综合介绍了多弧离子镀TiAlN涂层熔滴颗粒产生的原因,探讨了N2分压和脉冲偏压对熔滴形成的影响.结果表明,TiAlN涂层中的熔滴颗粒密度和直径随N2分压和脉冲偏压峰值的提高而减小. |
| 关 键 词： | 熔滴 N2分压 脉冲偏压 多弧离子镀 |
| 文章编号： | 1671-0185（2007）05-0514-04 |
| 收稿时间： | 2007-04-21 |
| 修稿时间： | 2007年4月21日 |
Influence of Technical Parameters on Droplets of TiAIN Coating Deposited by Multi-arc Ion Plating |
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| MAO Yan-fa,GONG Yong-hui,YANG Lin,HAN Pei-gang,LAN Xin-zhe,ZHOU Lian.Influence of Technical Parameters on Droplets of TiAIN Coating Deposited by Multi-arc Ion Plating[J].Journal of Inner Mongolia University for the Nationalities(Natural Sciences),2007,22(5):514-517. | |
| Authors: | MAO Yan-fa GONG Yong-hui YANG Lin HAN Pei-gang LAN Xin-zhe ZHOU Lian |
| Abstract: | The reasons of droplets formed during the multi - arc ion plating TiAIN coating are summarized also. The influences of N2 partial pressure and negative DC pulse - bias on droplets formation are discussed. The results shows that the density and diameter of droplets become lower with N2 pressure and pulse- bias increase. |
| Keywords: | TiAlN |
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