| 基于MEMS工艺微气体传感器结构与工艺设计 |
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| 引用本文： | 张子立,殷晨波,朱斌,陶春旻. 基于MEMS工艺微气体传感器结构与工艺设计[J]. 南京工业大学学报(自然科学版), 2012, 34(3): 31-35 |
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| 作者姓名： | 张子立 殷晨波 朱斌 陶春旻 |
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| 作者单位： | 南京工业大学机械与动力工程学院,江苏南京,211816 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(50875122);江苏省自然科学基金资助项目(BK2007185);江苏省2011年度普通高校研究生科研创新计划资助项目(CXZZ11_0340) |
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| 摘 要： | 针对传统堆积式硅基微气体传感器制造工艺复杂的缺点,设计一种将Pt电极制成一层的共面式微气体传感器,利用有限元软件ANSYS对传感器的热性能进行了分析。结果表明:共面式微传感器的气敏薄膜表面工作区域的温度差在功耗为15 mW时约为7℃,且当功耗为13 mW时传感器温度便可达300℃。根据MEMS工艺设计了一套制造该结构传感器的工艺。该工艺可以与溶胶-凝胶法制膜工艺相兼容,且整个工艺只用到3块掩膜版,从而降低了工艺复杂程度,提高了产品成品率。
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| 关 键 词： | 微气体传感器 结构优化 热性能 制造工艺 |
Design of structure and process for micro-gas sensor based on MEMS technology |
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| ZHANG Zili , YIN Chenbo , ZHU Bin , TAO Chunmin. Design of structure and process for micro-gas sensor based on MEMS technology[J]. Journal of Nanjing University of Technology, 2012, 34(3): 31-35 |
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| Authors: | ZHANG Zili YIN Chenbo ZHU Bin TAO Chunmin |
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| Affiliation: | min(College of Mechanical and Power Engineering,Nanjing University of Technology,Nanjing 211816,China) |
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