| 高频振动外差激光干涉仪研究 |
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| 引用本文： | 左爱斌,于梅,马明德,杨丽峰,刘爱东. 高频振动外差激光干涉仪研究[J]. 科技导报(北京), 2006, 24(11): 13-14 |
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| 作者姓名： | 左爱斌 于梅 马明德 杨丽峰 刘爱东 |
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| 作者单位： | 中国计量科学研究院,北京,100013;中国计量科学研究院,北京,100013;中国计量科学研究院,北京,100013;中国计量科学研究院,北京,100013;中国计量科学研究院,北京,100013 |
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| 摘 要： | 光外差激光干涉测量技术具有非接触、超高灵敏度的优点,用于微小振动的测量有独特的优势。采用外差激光干涉技术,结合正交正弦逼近法,在国家高频基准振动台上实现了纳米级的振动位移和相位测量。
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| 关 键 词： | 外差干涉仪 正弦逼近法 振动测量 相位移 |
| 文章编号： | 1000-7857（2006）11-0013-02 |
| 收稿时间： | 2006-09-11 |
| 修稿时间： | 2006-09-11 |
Research of Heterodyne Interferometer of High-frequency Vibration |
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| ZUO Ai-bin,YU Mei,MA Ming-de,YANG Li-feng,LIU Ai-dong. Research of Heterodyne Interferometer of High-frequency Vibration[J]. Science & Technology Review, 2006, 24(11): 13-14 |
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| Authors: | ZUO Ai-bin YU Mei MA Ming-de YANG Li-feng LIU Ai-dong |
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| Affiliation: | National Institute of Metrology, Beijing 100013, China |
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| Abstract: | Based on the non-contact and super-sensitivity of the heterodyne interfere technique, and its particular advantage at minuteness vibration test, we set up a heterodyne interferometer and use the sine-approximate method, and got the nanometer level displacement and phase shift measurement of high-frequency vibration at the national standard device. |
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| Keywords: | heterodyne interferometer sine-approximate method vibration measurement phase shift |
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