| 用于数字微流体器件的介质上电润湿(EWOD)液滴产生器 |
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| 引用本文： | 曾雪锋,岳瑞峰,吴建刚,胡欢,董良,王喆垚,何枫,刘理天.用于数字微流体器件的介质上电润湿(EWOD)液滴产生器[J].中国科学(E辑),2006,36(1):105-112. |
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| 作者姓名： | 曾雪锋 岳瑞峰 吴建刚 胡欢 董良 王喆垚 何枫 刘理天 |
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| 作者单位： | 1. 清华大学,微电子学研究所,北京100084
2. 清华大学,工程力学系,北京100084 |
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| 基金项目： | 清华大学校科研和教改项目;中国科学院资助项目 |
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| 摘 要： | 介质上电润湿(EWOD)是指通过在介质层下面的微电极阵列上施加电势来控制液体和固体介质层表面之间的润湿特性. 研制出了EWOD液滴产生器的原型. 它采用“三明治”结构: 液体被夹在上下电极之间; 下极板用硅作为微电极阵列衬底、低压化学气相淀积(LPCVD)制备的Si3N4薄膜作为介质层, 感应耦合等离子体化学气相淀积(ICP-CVD)制备的碳氟聚合物薄膜作为厌水层; 上极板是覆盖有厌水层的透明导电玻璃板. 为了得到产生液滴所需要的最小电压, 对液滴产生的过程和临界条件进行了理论分析. 在35V电压下实现了包围在硅油中的去离子水液滴的产生.
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| 关 键 词： | 介质上电润湿 液滴产生和控制 感应耦合等离子 体化学气相淀积 微全分析系统 |
| 收稿时间： | 2005-01-25 |
| 修稿时间： | 2005-01-252005-08-08 |
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