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| 干涉仪及其在光学检测中的应用 | |
| 引用本文： | 张宏亮,王勤.干涉仪及其在光学检测中的应用[J].科技信息,2007(1):79-79,114. |
| 作者姓名： | 张宏亮 王勤 |
| 作者单位： | 郑州航空工业管理学院，苏州大学物理科学与技术学院 河南 郑州 450015，江苏 苏州 215006 |
| 摘 要： | 干涉法是高精度检测的一种重要方法,它能提供精确的全视场表面的轮廓测试结果,因此成为光学高精度检测的主要方法。本文介绍干涉仪的原理及几种典型的干涉仪,重点介绍了目前广泛使用的美国ZYGO干涉仪,并给出了相应的装置原理图。最后介绍了干涉仪在光学检测中的应用。 |
| 关 键 词： | 干涉仪 高精度 轮廓 光学检测 |
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