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等离子体化学镀膜技术在粉末冶金行业的应用
引用本文:汤青云,陈益平,徐玲,段冬平. 等离子体化学镀膜技术在粉末冶金行业的应用[J]. 湖南城市学院学报(自然科学版), 2009, 18(4): 48-51
作者姓名:汤青云  陈益平  徐玲  段冬平
作者单位:湖南城市学院,化学与环境工程系,湖南,益阳,413000;益阳市粉末冶金总厂,湖南,益阳,413000
摘    要:介绍了等离子体化学工艺,特别着重介绍了溅射镀膜与等离子体化学气相沉积在粉末冶金中的应用.

关 键 词:等离子体化学  溅射镀膜  化学气相沉积  粉末冶金

Filming-Technology of Plasma Chemistry in Powder Metallurgy Products
TANG Qing-yun,CHEN Yi-ping,XU Ling,DUAN Dong-ping. Filming-Technology of Plasma Chemistry in Powder Metallurgy Products[J]. Journal of Hunan City University:Natural Science, 2009, 18(4): 48-51
Authors:TANG Qing-yun  CHEN Yi-ping  XU Ling  DUAN Dong-ping
Abstract:
Keywords:
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