| 图案化SiC和SiCN陶瓷微结构的制备 |
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| 引用本文： | 王浩,宋胤江,李效东,金东杓.图案化SiC和SiCN陶瓷微结构的制备[J].中国科学(E辑),2006,36(5):515-524. |
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| 作者姓名： | 王浩 宋胤江 李效东 金东杓 |
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| 作者单位： | 1. 国防科学技术大学CFC重点实验室,长沙,410073
2. 忠南大学精细化工与化学工程系,韩国大田,305-764 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;国家重点实验室基金;国防科学技术大学校科研和教改项目 |
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| 摘 要： | 采用毛细管微模塑技术和转移微模塑技术, 以硅片为栽片, 以图案化聚二甲基硅氧烷(PDMS)弹性体为模板, 以聚碳硅烷(PCS)和聚硅氮烷(PSZ)为先驱体, 经过先驱体的渗入、先驱体的交联固化、弹性模板的去除以及图案化先驱体的无机化, 制备了图案化SiC和SiCN陶瓷微结构. 研究结果表明, 所制备的陶瓷微结构的尺寸和形状受模板的图案化尺寸和形状控制. 由于SiC和SiCN非氧化物陶瓷自身的优良性能将使得所制备的图案化SiC和SiCN陶瓷微结构在高温、高压等环境下具有非常广泛的应用前景.
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| 关 键 词： | 软刻蚀 弹性模板 非氧化物陶瓷 图案化 微加工技术 |
| 收稿时间： | 2005-06-01 |
| 修稿时间： | 2005-06-012005-09-22 |
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