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| 热处理SnO2薄膜光学特性的影响 | |
| 作者姓名： | 李明华 |
| 作者单位： | 内蒙古大学新能源研究中心 |
| 摘 要： | 用真空蒸方法在玻璃衬底上沉积ＳｎＯ２薄膜。在氮气，氧气气氛下对薄膜进行不同温度条件热处理，实验表明，热处理后薄膜的结构和光学性能均有了很大的改善。 |
| 关 键 词： | 薄膜 热处理 光学特性 二氧化锡 PVD法 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
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