| 氧化铝湿敏元件及其稳定性研究 |
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| 引用本文： | 刘刚,刘三清. 氧化铝湿敏元件及其稳定性研究[J]. 华中科技大学学报(自然科学版), 1988, 0(Z2) |
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| 作者姓名： | 刘刚 刘三清 |
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| 作者单位： | 华中理工大学固体电子学系(刘刚)，华中理工大学固体电子学系(刘三清) |
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| 摘 要： | 本文论述了电容式氧化铝湿敏元件的感湿原理及多孔氧化铝的成膜机理。通过特性的测试比较,确定了较工艺条件及合理的元件结构,并应用不同的方法对好的影响元件感湿特性的因素进行了分析处理,使其稳定性得以提高。
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| 关 键 词： | 湿度敏感器 多孔氧化铝 相对湿度 稳定性 阳极氧化 |
On Alumina Humidity Sensor and Its Stability |
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| Liu Gang Liu Sanqing. On Alumina Humidity Sensor and Its Stability[J]. JOURNAL OF HUAZHONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY.NATURE SCIENCE, 1988, 0(Z2) |
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| Authors: | Liu Gang Liu Sanqing |
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| Affiliation: | Liu Gang Liu Sanqing |
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| Keywords: | Humidity sensor Porous alumina Relative humidity Stability Anodization. |
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