| 溶胶凝胶法制备Sb掺杂SnO2透明导电膜的结构与性能研究 |
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| 引用本文： | 郭锐 张华利. 溶胶凝胶法制备Sb掺杂SnO2透明导电膜的结构与性能研究[J]. 科学技术与工程, 2007, 7(3): 360-363 |
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| 作者姓名： | 郭锐 张华利 |
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| 作者单位： | 暨南大学物理系凝聚态物理实验室,广州,510632;暨南大学物理系凝聚态物理实验室,广州,510632 |
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| 摘 要： | 在乙醇溶剂中,以无机金属盐SnCl2.2H2O和SbCl3为原料,采用溶胶-凝胶法制备了Sb掺杂的SnO2透明导电薄膜(ATO),研究了Sb掺杂量和热处理温度对薄膜结构和性能的影响。结果表明,热处理温度为500℃、Sb掺杂摩尔百分比为15%～20%时,薄膜具有较好的结晶性能、好的导电性能、较高的可见光区透射率和红外光区反射率。
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| 关 键 词： | SnO2 透明导电膜 溶胶凝胶法 掺杂Sb |
| 文章编号： | 23646892 |
| 修稿时间： | 2006-09-12 |
Structure and Properties of Sb-doped SnO2 Transparent and Conductive Thin Films Prepared by Sol-gel Process |
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| GUO Rui,Zhang Hua-li. Structure and Properties of Sb-doped SnO2 Transparent and Conductive Thin Films Prepared by Sol-gel Process[J]. Science Technology and Engineering, 2007, 7(3): 360-363 |
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| Authors: | GUO Rui Zhang Hua-li |
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| Affiliation: | Laboratory of Condensed Matter Physics of Department of Physics, Jinan University, Guangzhou 510632, P. R. China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | SnO_ 2 transparent conducting film sol-gel process Sb-doped |
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