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| 标准镜调整和面形误差对干涉测量的影响 | |
| 作者姓名： | 曹晓君 郑建洲 王丽梅 曲艳玲 武松林 |
| 作者单位： | 大连民族大学 物理与材料工程学院,辽宁 大连 116605 |
| 基金项目： | 大连民族大学自主科研基金培育项目(DCPY2016011)。 |
| 摘 要： | 采用Zemax光学设计软件进行干涉模拟,建立传统菲索干涉仪结构;对标准镜调整和面形误差对测量结果的影响做出模拟分析,得出对标准镜引入倾斜将会带来像差;分析了标准镜前后表面面形误差对测量结果的影响。 |
| 关 键 词： | 菲索干涉仪 标准镜 波像差 |
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