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标准镜调整和面形误差对干涉测量的影响
作者姓名:曹晓君  郑建洲  王丽梅  曲艳玲  武松林
作者单位:大连民族大学 物理与材料工程学院,辽宁 大连 116605
基金项目:大连民族大学自主科研基金培育项目(DCPY2016011)。
摘    要:采用Zemax光学设计软件进行干涉模拟,建立传统菲索干涉仪结构;对标准镜调整和面形误差对测量结果的影响做出模拟分析,得出对标准镜引入倾斜将会带来像差;分析了标准镜前后表面面形误差对测量结果的影响。

关 键 词:菲索干涉仪  标准镜  波像差  
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