标准镜调整和面形误差对干涉测量的影响 |
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引用本文: | 曹晓君,郑建洲,王丽梅,曲艳玲,武松林.标准镜调整和面形误差对干涉测量的影响[J].大连民族学院学报,2017,19(3):237-239. |
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作者姓名: | 曹晓君 郑建洲 王丽梅 曲艳玲 武松林 |
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作者单位: | 大连民族大学 物理与材料工程学院,辽宁 大连 116605 |
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基金项目: | 大连民族大学自主科研基金培育项目(DCPY2016011)。 |
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摘 要: | 采用Zemax光学设计软件进行干涉模拟,建立传统菲索干涉仪结构;对标准镜调整和面形误差对测量结果的影响做出模拟分析,得出对标准镜引入倾斜将会带来像差;分析了标准镜前后表面面形误差对测量结果的影响。
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关 键 词: | 菲索干涉仪 标准镜 波像差 |
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