缝式喷嘴结构参数对出口流场分布的影响 |
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作者姓名: | 相颖杰 高超 苏芳臣 陈建钧 |
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作者单位: | 华东理工大学机械与动力工程学院; |
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摘 要: | 提出了一种用于化学气相沉积法制备6.5%硅钢(wSi=6.5%)的缝式喷嘴结构。利用数值仿真方法模拟了不同结构参数下喷嘴出口处SiCl4气体速度分布情况。基于试验设计方法分析了结构参数对喷嘴出口处速度场分布的影响,以及各影响因素的重要程度。通过软件进行优化分析得到了最优的结构参数。通过实验对仿真结果进行了验证。
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关 键 词: | 缝式喷嘴 流场仿真 试验设计方法 |
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