|
|||||
|
|
| 缝式喷嘴结构参数对出口流场分布的影响 | |
| 引用本文： | 相颖杰,高超,苏芳臣,陈建钧.缝式喷嘴结构参数对出口流场分布的影响[J].华东理工大学学报(自然科学版),2014(6):785-790. |
| 作者姓名： | 相颖杰 高超 苏芳臣 陈建钧 |
| 作者单位： | 华东理工大学机械与动力工程学院; |
| 摘 要： | 提出了一种用于化学气相沉积法制备6.5%硅钢(wSi=6.5%)的缝式喷嘴结构。利用数值仿真方法模拟了不同结构参数下喷嘴出口处SiCl4气体速度分布情况。基于试验设计方法分析了结构参数对喷嘴出口处速度场分布的影响,以及各影响因素的重要程度。通过软件进行优化分析得到了最优的结构参数。通过实验对仿真结果进行了验证。 |
| 关 键 词： | 缝式喷嘴 流场仿真 试验设计方法 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |