| Er2O3薄膜的电学性质研究 |
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| 引用本文： | 陈圣,徐润,朱燕艳,方泽波,薛菲,樊永良,蒋最敏. Er2O3薄膜的电学性质研究[J]. 江西科学, 2005, 23(5): 499-501,510 |
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| 作者姓名： | 陈圣 徐润 朱燕艳 方泽波 薛菲 樊永良 蒋最敏 |
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| 作者单位： | 复旦大学应用表面物理国家重点实验室,上海,200433 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究专项基金（批准号：G2001CB3095,10321003和60425411）资助的课题. |
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| 摘 要： | Er2O3是一种很有希望的高κ材料。在氧气氛下热蒸发金属铒源，制备了Er2O3的薄膜，随后在氧气氛下对它进行了退火。通过对其C—V及I—V特性的测试，认为该材料的电学特性优秀，应该进行进一步的研究。
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| 关 键 词： | Er2O3 高κC—V I—V |
| 文章编号： | 1001-3679（2005）05-0499-04 |
| 收稿时间： | 2005-04-17 |
| 修稿时间： | 2005-04-172005-06-29 |
Electrical Properties of Er2O3 Thin Film |
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| CHEN Sheng,XU Run,ZHU Yan-yan,FANG Ze-bo,XUE Fei,FAN Yong-liang,JIANG Zui-min. Electrical Properties of Er2O3 Thin Film[J]. Jiangxi Science, 2005, 23(5): 499-501,510 |
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| Authors: | CHEN Sheng XU Run ZHU Yan-yan FANG Ze-bo XUE Fei FAN Yong-liang JIANG Zui-min |
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| Affiliation: | Surface Physics Laboratory (National Key Laboratory |
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