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| 退火温度对制备ZnO薄膜光电学性质的影响 | |
| 作者姓名： | 吕灵燕 |
| 作者单位： | 福建大学物理与信息工程学院,福州,350002 |
| 摘 要： | 采用溶胶—凝胶法在ITO玻璃衬底上制备氧化锌（ZnO）薄膜,利用AFM和UV对不同退火温度的ZnO薄膜样品进行分析。经实验的表征结果分析,退火温度为500℃～700℃区间,透射率呈现先上升后下降的趋势,而禁带宽度基本保持不变。通过实验结果对比得出,当退火温度为550℃时,制备出的ZnO薄膜的结晶质量较好,表面较光滑,透射率约为90%,禁带宽度为3.25eV, |
| 关 键 词： | ZnO薄膜 溶胶—凝胶法 退火温度 |
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