| 化学机械抛光传输机器人模型及LQ控制 |
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| 引用本文： | 赵建伟,路新春,何永勇.化学机械抛光传输机器人模型及LQ控制[J].华中科技大学学报(自然科学版),2012,40(Z2). |
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| 作者姓名： | 赵建伟 路新春 何永勇 |
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| 作者单位： | 清华大学精密仪器与机械学系,北京,100184 |
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| 基金项目： | 国家杰出青年科学基金资助项目，国家自然科学基金创新研究群体资助项目，国家科技重大项目，中国博士后科学基金资助项目 |
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| 摘 要： | 针对具有七自由度化学机械抛光传输机器人(CMPTR),运用拉格朗日方程和牛顿力学相结合的方法,建立非线性系统CMPTR的动力学模型.对模型进行泰勒级数展开,并线性化得CMPTR状态空间方程,便于使用LQ最优控制对其进行控制.其中性能指标是由各状态量的累积运动误差与控制量的代数和构成,通过寻找一条最优控制律使其最小,从而使CMPTR的精度和控制能量消耗都取得满意效果.仿真实验验证了系统的稳定性,也验证了系统建模和LQ控制器设计的合理性和有效性.
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| 关 键 词： | 传输机器人 化学机械抛光 动力学建模 线性二次型 最优控制 |
Model and LQ control of transfer robot in chemical mechanical polishing |
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