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| 微机械(MEMS)与微细加工技术 | |
| 引用本文： | 段润保,赵砚江,毛言理.微机械(MEMS)与微细加工技术[J].河北理工大学学报（自然科学版）,2004,26(2). |
| 作者姓名： | 段润保 赵砚江 毛言理 |
| 摘 要： | 首先对微机械(MEMS)的分类及其特点作了简明的阐述,在此基础上,着重评介了近年来该领域各种微细加工方法及其能够达到的加工尺度与水平.指出当前微细加工技术仍然在以使用物理和化学能量的特种加工为主,并呈现加工材料扩大化、产品机构复杂和加工手段复合化的发展态势. |
| 关 键 词： | 微机械 MEMS 微细加工 特种加工 |
The new development of MEMS and micro-machining |
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