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| 掺氮类金刚石薄膜(α-C:H:N)显微结构的研究 | |
| 引用本文： | 张伟丽,居建华,夏义本,王林军,方志军.掺氮类金刚石薄膜(α-C:H:N)显微结构的研究[J].上海大学学报(自然科学版),2000,6(5):391-394. |
| 作者姓名： | 张伟丽 居建华 夏义本 王林军 方志军 |
| 作者单位： | 上海大学材料科学与工程学院上海 201800 |
| 摘 要： | 用射频等离子体化学气相沉积法（ＲＦ－ＣＶＤ）和ＣＨ４、Ｎ２与Ａｒ组成的混合气体制备掺氮类金刚石薄膜（α－Ｃ：Ｈ：Ｎ）。用原子力显微镜（ＡＦＭ）、俄歇电子能谱（ＡＥＳ）、红外光谱（ＩＲ）以及显微拉曼谱（Ｍｉｃｒｏ－Ｒａｍａｎ）对α－Ｃ：Ｈ：Ｎ薄膜的表面形貌、组分和微观结构进行表征。实验结果表明，薄膜中有纳米量级的颗粒存在，而且随反应气体中Ｎ２与ＣＨ４比值的增大，薄膜中的氮元素含量也随之增大，并主要以 |
| 关 键 词： | 显微结构 类金刚石薄膜 掺氮 |
| 文章编号： | 1007-2861(200)05-0391-04 |
| 修稿时间： | 2000年1月26日 |
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