柔性电容高频特性的测量与研究 |
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作者单位: | ;1.天津大学电子信息工程学院 |
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摘 要: | 通过制作柔性基体上的电容,测量电容在高频(2~15 GHz)下的散射参数S、品质因子Q和电容值C,并用ADS软件为器件搭建等效电路模型,进行对实验数据的仿真拟合,得到了等效电路模型中各参数的合理值.通过对各参数的调整,得出仿真数据的变化以及和实验数据的偏离,从而得到各参数对器件性能的影响,进而为将来柔性电容甚至柔性器件的集成提供工艺上的指导.
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关 键 词: | 电容器 等效电路 仿真 高频 柔性基体 |
Measurement and research of flexible high-frequency capacitor |
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