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| 基于法布里-珀罗效应的纳米有序多孔硅光学传感器研究 | |
| 作者单位： | ;1.天津大学电子信息工程学院 |
| 摘 要： | 利用电化学方法在N型0.01Ω·cm单晶抛光硅片上制备纳米有序多孔硅,研究电流密度对其形貌及光学性能的影响;并通过对硅基体进行预处理达到消除多孔硅表面小孔硅的目的.结果表明,随着电流密度的增大,多孔硅的孔径、孔隙率以及光学厚度均增大.给经过预处理的硅基体施加75 m A/cm2的电流密度,多孔硅的表面孔径达到50 nm,与体孔径大小一致;在光学检测中对酒精溶液表现出良好的敏感性,检测浓度能够低至5×10-5 mol/L. |
| 关 键 词： | 多孔硅 电化学腐蚀 法布里-珀罗效应 有效光学厚度 光学性能 |
Study on optical sensor based on Fabry-Perot effect of nanometer orderly porous silicon |
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| Abstract: | |
| Keywords: | |
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