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| 微氮CZ硅单晶中氧沉积的研究 | |
| 引用本文： | 潘飞蹊,游志朴.微氮CZ硅单晶中氧沉积的研究[J].四川大学学报(自然科学版),1998,35(1):28-31. |
| 作者姓名： | 潘飞蹊 游志朴 |
| 作者单位： | Department of Physics |
| 基金项目： | 硅材料科学国家重点实验室资助 |
| 摘 要： | 通过对微氮ＣＺ硅单晶中氧沉积性质的研究表明，在氮—氮对（Ｎ—Ｎ）浓度为９×１０１５／ｃｍ３且经去热施主预热处理的样品中，氮对氧的沉积没有增强作用．因此，在实用的微氮ＣＺ硅单晶中的氮杂质不会对三步本征吸杂产生不利影响． |
| 关 键 词： | 氮 杂质 氧沉积 本征吸杂 硅 单晶 |
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