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| 金刚石薄膜电容的欧姆接触 | |
| 引用本文： | 宁延一,曲长庆,等.金刚石薄膜电容的欧姆接触[J].天津理工学院学报,2001,17(2):9-14. |
| 作者姓名： | 宁延一 曲长庆 |
| 摘 要： | 用本征金刚石薄膜制备的电容具高储能，高击穿电压、耐高温，基本电阻可调节以及良好的化学稳定性等特点。金属与金刚石薄膜形成欧姆接触是电极金属的选取是制备金刚石薄膜电容的重要一步。本文主要研究金刚石薄膜的欧姆接触及其I-V曲线。 |
| 关 键 词： | 金刚石薄膜 电容 扫描电子显微镜 欧姆接触 形貌分析 I－V曲线 |
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