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| 一种弱位相差新的检测法——三缝全息干涉装置 | |
| 作者姓名： | 程堂郭 王林渝 匡实 |
| 作者单位： | 重庆大学应用物理系(程堂郭，王林渝)，重庆大学应用物理系(匡实) |
| 摘 要： | 本文介绍一种检测光学平面度和薄膜厚度的新方法。采用单缝作等间距位移,三次曝光分别记录有位相调制(F_0缝)和无位相调制(F_1和F_2缝)的三缝频谱全息图,以细光束照明全息图的夫琅贺夫衍射谱第一级序,可重现三缝干涉图。此装置简单,分辨率达到1/400波长(λ/400)量级。 |
| 关 键 词： | 三缝频谱 调制度 π/2位相调制 |
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