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| 溶胶—凝胶法制备氟化物薄膜光波导 | |
| 引用本文： | 徐跃刚,钟家柽.溶胶—凝胶法制备氟化物薄膜光波导[J].武汉大学学报(自然科学版),1999,45(5):607-609. |
| 作者姓名： | 徐跃刚 钟家柽 |
| 作者单位： | [1]武汉大学物理学系 [2]武汉大学化学系 |
| 摘 要： | 以乙酰丙酮盐为原料，用溶胶－凝胶法制备掺饵的锆钡镧铝氟化物薄膜光波导。第一步为制备包含锆钡镧铝及铒的溶胶；第二步为在基底上用旋转镀膜的方法镀膜及氟化。用这种方法得到的薄膜用扫描电镜测量了其组分和表面膜的形态。同时也测得膜的厚度和折射率。 |
| 关 键 词： | 溶胶－凝胶法 乙酰丙酮 氟化物 薄膜 光波导 |
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