| 磁控溅射法制备Er2O3薄膜及其力学性能研究 |
| |
| 引用本文： | 曹潆心,吴宝珍,杨朝明,杨恒明,罗栋威,薛锐,汪渊.磁控溅射法制备Er2O3薄膜及其力学性能研究[J].四川大学学报(自然科学版),2022,59(1):014002-126. |
| |
| 作者姓名： | 曹潆心 吴宝珍 杨朝明 杨恒明 罗栋威 薛锐 汪渊 |
| |
| 作者单位： | 四川大学物理学院,成都610064;四川大学物理学院,成都610064;四川大学原子核科学与技术研究所辐射物理及技术教育部重点实验室,成都610064 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金(1177515) |
| |
| 摘 要： | 金属表面纳米化可以明显改善材料表面力学性能,并能对原子的热扩散起到促进作用,本文尝试采用材料表面纳米化技术改善316L不锈钢金属基底与Er2O3薄膜相结合的力学性能.对316L不锈钢采用超音速微粒轰击法处理使得基体表面纳米化,之后采用磁控溅射法在表面纳米化和粗晶粒的316L不锈钢基体上沉积Er2O3薄膜并进行500℃和700℃的退火.发现薄膜在500℃退火时相结构基本保持稳定,在700℃退火时Er2O3薄膜发生明显的单斜相向立方相的转变.利用采用X射线衍射（XRD）、场发射扫描电子显微镜（SEM）和纳米划痕测试对薄膜和基底的结合性能评价.结果表明,700℃退火后的薄膜的要比500℃退火后的薄膜表面裂纹更少,更平整,且证得基底纳米化会使膜基结合性能得到提高.
|
| 关 键 词： | Er2O3薄膜 表面纳米化 膜基结合力 |
| 收稿时间： | 2021/6/4 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2021/7/12 0:00:00 |
Preparation of Er2O3 film by magnetron sputtering and its mechanical properties |
| |
| CAO Ying-Xin,WU Bao-Zhen,YANG Zhao-Ming,YANG Heng-Ming,LUO Dong-Wei,XUE Rui and WANG Yuan.Preparation of Er2O3 film by magnetron sputtering and its mechanical properties[J].Journal of Sichuan University (Natural Science Edition),2022,59(1):014002-126. |
| |
| Authors: | CAO Ying-Xin WU Bao-Zhen YANG Zhao-Ming YANG Heng-Ming LUO Dong-Wei XUE Rui and WANG Yuan |
| |
| Institution: | College of Physics, Sichuan University,College of Physics, Sichuan University,College of Physics, Sichuan University,College of Physics, Sichuan University,College of Physics, Sichuan University,College of Physics, Sichuan University,College of Physics, Sichuan University; Key Laboratory for Radiation Physics and Technology of Ministry of Education, Institute of Nuclear Science and Technology, Sichuan University |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | Er2O3 film Surface nanocrystallization Membrane-based binding force |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《四川大学学报(自然科学版)》浏览原始摘要信息 |
| 点击此处可从《四川大学学报(自然科学版)》下载免费的PDF全文 |
|
