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| 用热解化学气相沉积方法合成金刚石 | |
| 引用本文： | 金曾孙,吕宪义,曲承林,庄荣书,赵树堂,邹广田.用热解化学气相沉积方法合成金刚石[J].吉林大学学报(理学版),1987(2). |
| 作者姓名： | 金曾孙 吕宪义 曲承林 庄荣书 赵树堂 邹广田 |
| 作者单位： | 吉林大学原子与分子物理研究所 (金曾孙，吕宪义，曲承林，庄荣书，赵树堂)，吉林大学原子与分子物理研究所(邹广田) |
| 摘 要： | 本文采用热解化学气相沉积方法,使用自制的实验装置在硅单晶和石英玻璃衬底上合成出金刚石膜。实验装置如图1所示。反应器用普通石英玻璃管制做,衬底加热采 |
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