特种气体报警系统安装调试要点

前言 半导体电子厂房等洁净空调场所，工艺上会用到各种气体如氢气（可燃、用于光刻）、砷化氢AsH3（有毒、用于沉积植入）、矽烷SiH4（有毒、用于蚀刻）等。但由于此类气体本身的特性，一旦泄露，将会产生严重后果，如氢气在空气中的浓度达到4％时，遇明火就会发生爆炸，砷化氢在空气中的浓度达到0.2mg／m^3时，人会感到头疼、晕眩、呼吸困难、腹部、背部疼痛、反胃、呕吐，引起血尿症、黄胆等疾病。