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| 椭圆偏振光谱的发展和应用 | |
| 作者姓名： | 莫党 |
| 作者单位： | 中山大学 |
| 摘 要： | 椭偏术(椭圆偏振光测量技术)是一种利用在样品上反射光偏振状态变化来进行膜厚及光学性质测定的技术.椭偏术的工作原理基于经典的电磁理论,但却有原子层级的灵敏度,在物理、化学、电子技术、材料科学等方面有广泛的应用.近年来,椭偏术有了新的发展.特别值得注意的是下面两方面的迅速发展:光谱和瞬态过程.前者是在光波波长范围内展开椭偏参量,后者是在时间区间内跟踪椭偏参量.本文谈的是前一个方面的发展和应用. |
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