| 有源静电悬浮系统的反馈线性化控制 |
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| 引用本文： | 韩丰田,高钟毓,王永梁.有源静电悬浮系统的反馈线性化控制[J].清华大学学报(自然科学版),2003,43(2):196-199. |
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| 作者姓名： | 韩丰田 高钟毓 王永梁 |
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| 作者单位： | 清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084 |
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| 基金项目： | 国防基础与应用研究"十五"预研项目(41309020) |
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| 摘 要： | 静电轴承需要一套静电悬浮系统将高速旋转的转子稳定地支承在电极球腔中心,被控对象呈现非线性与负刚度特性。在推导静电悬浮系统的高阶静电力模型基础上,应用反馈线性化方法,构造出非线性控制器,能够使得系统在大范围内线性化。将传统的线性控制器与提出的非线性控制方案在三自由度静电悬浮系统上进行了实验比较。实验结果表明,将反馈线性化方法应用于静电悬浮系统,提高了系统的动态性能、稳定裕量和中频支承刚度。
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| 关 键 词： | 静电力 静电悬浮 反馈线性化 支承刚度 |
| 文章编号： | 1000-0054(2003)02-0196-04 |
| 修稿时间： | 2002年5月23日 |
Feedback linearization of active electrostatic levitation systems |
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| HAN Fengtian,GAO Zhongyu,WANG Yongliang.Feedback linearization of active electrostatic levitation systems[J].Journal of Tsinghua University(Science and Technology),2003,43(2):196-199. |
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| Authors: | HAN Fengtian GAO Zhongyu WANG Yongliang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | electrostatic force electrostatic levitation feedback linearization suspension stiffness |
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